Titre :	Techniques de fabrication des microsystèmes Vol. 2, Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Michel de Labachelerie (1959-....), Directeur de publication, rédacteur en chef
Mention d'édition :
Editeur :	Paris : Hermès
Année de publication :	2004
Collection :	Traité EGEM
Sous-collection :	Microsystèmes
Importance :	1 vol. (330-IV p.)
Présentation :	ill.
Format :	25 cm
ISBN/ISSN/EAN :	2-7462-0818-0
Prix :	95 EUR
Langues :	Français (fre)
Catégories :	[Thesaurus]Sciences et Techniques:Sciences:Physique:Electronique

Techniques de fabrication des microsystèmes Vol. 2, Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs [texte imprimé] / Michel de Labachelerie (1959-....), Directeur de publication, rédacteur en chef  . -   . - Paris : Hermès, 2004 . - 1 vol. (330-IV p.) : ill. ; 25 cm. - (Traité EGEM. Microsystèmes) .
ISBN : 2-7462-0818-0 : 95 EUR
Langues : Français (fre)

Catégories :

[Thesaurus]Sciences et Techniques:Sciences:Physique:Electronique